用扫描电镜制备高性能AFM针尖

摘要：

本文介绍通过扫描电镜采用“电子束诱导沉积”法制备高质量导电原子力显微镜针尖的制备原理.

关键词： 原子力显微镜 制备原理 扫描电镜 电子束诱导沉积法

作者: 徐军 陈文雄 尤力平 张会珍

作者单位: 北京大学电子显微镜实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学术会议

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 304-305

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）