N离子轰击对纳米金刚石薄膜微观形貌的影响

摘要：

本文用微波等离子化学气相沉积的方法,先在单晶Si片上制备出厚度为400nm左右的纳米金刚石薄膜,然后采用高能N离子束轰击的方法,对纳米金刚石薄膜进行离子束轰击,以期达到改善金刚石薄膜摩擦性能的目的.

关键词： 离子轰击 纳米金刚石薄膜 化学气相沉积 微观形貌 晶体结构 扫描电镜

作者: 徐洮 杨生荣 吕晋军 薛群基

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑开放实验室(兰州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学术会议

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 302-303

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）