S-520型扫描电镜保护性高压中断故障分析

摘要：

本文通过S-520型扫描电镜-高压中断故障,对总线数据输入接口、地址译码接口及透镜高压控制电路做了较详细的分析,提供了各电路工作占实际检测数据并介绍了故障排除方法.

关键词： 扫描电镜 高压中断 故障分析 故障排除

作者: 刘廷礼 邱琴

作者单位: 山东大学实验中心(济南)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学术会议

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 438-439

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）