JEM-1200EX电子显微镜真空泄漏故障一例

摘要：

本文对JEM-1200EX电子显微镜出现的真空泄漏故障进行了分析并介绍了排除方法.

关键词： 电子显微镜 真空泄漏 故障分析 排除方法

作者: 张中朝 栗华 徐纫秋

作者单位: 河北省医学科学院实验医学研究所(石家庄)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学术会议

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 434-435

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）