JEM-2000FX电镜电子束发生系统故障分析及检修

摘要：

本文对JEM-2000FX透射电镜在使用时经常出现电子束闪动的故障进行了分析及检修并介绍了维修注意事项.

关键词： 透射电镜 电子束发生系统 故障分析 电子束闪动

作者: 马通达 孙继光 张希顺 陈朝相

作者单位: 北京有色金属研究总院(北京) 日本电子产品维修站(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第二届全国扫描电子显微学术会议

会议地点: 包头

会议语种:中文

页码: 428-429

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）