ZAO靶材烧结机理与特征的研究

摘要：

通过SEM观察了各个烧结温度下得到的ZAO陶瓷的断面形貌,揭示了ZAO陶瓷烧结的几个基本过程及其温度区间,并详细说明了各个阶段的显微结构特征.通过与ZnO陶瓷烧结过程的对比,揭示了Al<,2>O<,3>掺杂对烧结过程的影响.

关键词： 显微结构 陶瓷烧结工艺 氧化锌铝薄膜 氧化铝掺杂

作者: 范锦鹏 赵大庆 董民超

作者单位: 清华大学机械工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国机械工程学会生产工程分会面向21世纪学术会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 75-79

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）