纳米技术的最新进展
纳米技术是深入到原子级微观世界的新技术,最近获得了极大的进展,这是一个新的科技发展领域,有可能使多个科技领域产生重大突破,各国都给予极大的重视.本文中介绍了纳米技术的几个主要方面的最新研究进展情况:纳米级精度的测量;扫描隧道显微镜和原子力显微镜;超精密加工和原子级加工;纳米材料;微型机械和微型机电系统;纳米生物学等.
纳米技术 纳米材料 微型机械制造 扫描隧道显微镜 原子力显微镜
袁哲俊
哈尔滨工业大学机电学院
国内会议
广州
中文
35-40
2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）