相移干涉仪测量波前PSD

摘要：

该文重点叙述了用WYKO公司24”相移干涉仪测量大尺寸光学元件波前的方法，元件的材料包含了光学玻璃、磷酸盐钕玻璃和KDP晶体等，形状有圆、方及多边形等，测量了光学元件的反射或透射波前，以及所对应的波前PSD测量结果，并讨论了应用波前PSD的意义和进一步的研究方法。

关键词： 相移干涉仪 波前 功率谱密度 空间频率

作者: 顾元元 柴林 许乔 张蓉竹

作者单位: 成都精密光学工程研究中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第三届四川省光电技术学术交流会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 233～239

在线出版日期: 2000-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）