超精密轴系设计制造及应用

摘要：

超精密回转轴系部件是机床、转台、刻线机及圆度测量仪等设备的主要组成部分，它直接带动工件旋转实现微米级(0.1μm～0.01μm)甚至纳微米级(0.1μm～0.01μm)的超精加工和测量。采用何种最佳的轴承结构及技术能设计制造达到超精密的主轴回转精度，实际应用状况如何，这是该文叙述的主要内容。

关键词： 超精密轴系 主轴回转精密 球轴承 静压技术

作者: 黎永明 刘建国

作者单位: 上海理工大学机械工程学院(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会精密机械分会99”精密工程学术讨论会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 100-102

在线出版日期: 1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）