定偏心锡磨盘的超精密平面抛光工艺

摘要：

介绍一种新型的定偏心式的锡盘的超精密平面抛光工艺。在表面成形模型的基础上，对定偏心抛光方式进行分析、模拟计算，获得表面材料均匀去除的条件；采用锡盘作为研磨盘及合理的工艺条件，对硬脆材料、不犭钢进行大量研抛试验，研究人员获得硬脆材料表面粗糙度0.5nm rms、平面度λ/10/Φ100，不锈钢表面粗糙度＜Ralnm、平面度λ/Φ160。

关键词： 超精密加工 锡磨盘 平面茺 粗糙度 抛光工艺

作者: 张红霞 高宏刚 殷伯华 吴明根

作者单位: 超精密加工技术国防科技重点实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会精密机械分会99”精密工程学术讨论会

会议地点: 成都

会议语种:中文

页码: 9-10,21

在线出版日期: 1999-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）