超精密平面抛光技术

摘要：

修正环型抛光机用于超精密平面抛光,并对沥青抛光进行了运动学分析.基于得到的方程式,发现在相同条件下,计算出的抛光量和平面度与60mm直径玻璃贺板工件的实验值非常一致.提出了用于改善抛光平行度的偏心分布载荷技术.

关键词： 超精密加工 平面抛光 运动学分析 偏心载荷

作者: 袁巨龙 沈中伟 刘盛辉 邢彤 河西敏雄

作者单位: 浙江工业大学 日本国琦玉大学

会议类型: 国内会议

会议名称: 2000年全国切削刀具技术学术研讨会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 56-59

在线出版日期: 2000-10-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）