硬脆材料的超光滑高平面度抛光工艺

摘要：

该文介绍一种新型的定偏心式锡磨盘的超精密平面抛光工艺。在建立平面成形的数学模型基础上，进行工艺实验，研究人员能够获得λ/10～λ/15／Φ30、λ／8／Φ100平面度、白宝石0．23nmrms、微晶玻璃0．37～0．52nmrms的粗糙度。

关键词： 超精密加工 锡磨盘 平面度 粗糙度

作者: 张红霞 高宏刚

作者单位: 航空精密机械研究所超精密加工重点实验室(北京) 科学院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国机械工程学会第三届全国青年学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 919～922

在线出版日期: 1998-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）