无间隙极限环的超精密机床伺服控制技术研究

摘要：

超精密机床伺服系统中,间隙非线性环节是影响系统性能的主要原因.为消除间隙非线性的影响,本文提出了双回路的控制方法,有效地防止了系统中自持振荡的产生.将该方法应用于实际系统中,得到了闭环定位时系统的最大稳态输出误差小于±20nm的控制精度.

关键词： 超精密机床 间隙非线性环节 极限环 闭环定位 伺服控制技术

作者: 王立松 董申 苏宝库 张飞虎

作者单位: 哈尔滨工业大学(哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第三届青年学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 1-2,14

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）