NbN/TaN超晶格薄膜的界面结构

关键词： 超晶格薄膜 晶体结构 超硬度效应

作者: 许俊华 戴嘉维

作者单位: 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室(上海) 上海交通大学高温材料及高温测试教育部开放实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一次全国电子显微学会议

会议地点: 昆明

会议语种:中文

页码: 435～436

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）