SSRF钛升华泵的研制

摘要：

正在设计中的上海同步辐射光源(SSRF)准备用钛升华泵作为主抽泵，大抽速钛升华泵作为预研项目之一。我们研制了一个增大钛吸收面的钛升华泵，其钛膜面积达4200cm<,2>，较普通相同尺寸的钛升华泵的钛吸收面要大约3倍。钛升华泵与离子泵配合，极限真空达到～7×10<”-12>torr。对CO的初始抽速达到10001/s以上，对H<,2>的初始抽速大于25001/s。我们还测试了该钛升华泵抽速随吸气量的增大而下降的曲线。用此钛升华泵来抽6米长的铝真空盒，极限真空达到了3.5×10<”-11>torr，而单独用离子泵抽到的极限真空为1.6×10<”10>torr。

关键词： 超高真空系统 储存环 钛升华泵

作者: 沈宝华 陈丽萍 姜晓丽 俞昶

作者单位: 国家上海同步辐射中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会真空获得与测量学术交流会

会议地点: 广西北海

会议语种:中文

页码: 15-23

在线出版日期: 2001-05-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）