沉积温度对CNx薄膜应力和硬度的影响

摘要：

研究了磁控溅射生长ＣＮｘ薄膜材料过程中沉积温度对应力和硬度的影响。薄膜应力在沉积温度为３５０℃时达到最大值５ＧＰａ，而在沉积温度为１００℃时，薄膜具有较小的应力。硬度测量结果显示，在３５０℃时生长的ＣＮｘ薄膜具有最高硬度。最后，对薄膜应力、硬度与结构的关系进行了讨论。

关键词： 超高压 新材料 物相

作者: 郑伟涛

作者单位: 大学材料科学系

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国科协第三届青年学术年会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 71～73

在线出版日期: 1998-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）