ＡＴ－ＭＣＰ微孔列阵基体形成的实验研究

摘要：

介绍了ＡＴ－ＭＣＰ微孔列阵基体形成的工艺实验，给出了采用Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘ－ＩＣＰ进行干法刻蚀的初步结果，指出了一些有待深入探索的新现象。

关键词： 先进技术微通道板 感应耦合离子体 微孔列阵 干法刻蚀 长径比

作者: 端木庆铎 姜德龙 李野 卢耀华

作者单位: 光学精密机械学院光电技术研究所(长春) 光学精密机械学院光电技术研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 410～414

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）