超高纯度氮、氢、氧的制备

摘要：

例举了大规模集成电路生产中，需要高纯度氮、氢、氧的技术要求。阐述了制备高纯度氮、氢、氧的方法、工艺流程，以及对设计高纯气体装置的特殊要求。

关键词： 超高纯度气体 技术要求 制备 方法 设备要求

作者: 章炎生

作者单位: 浦东德州路150弄74号602室

会议类型: 国内会议

会议名称: 机械工业气体分离设备科技信息网第十一次全网大会暨学术交流会

会议地点: 承德

会议语种:中文

页码: 102～104

在线出版日期: 1998-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）