稀土La、Nd掺杂硅基薄膜光致发光特性

摘要：

测量了La、Nd稀土离子注入Si基晶片，在不同退火条件下的室温光致发光(PL)谱，结果表明它们均具有蓝、紫发光峰，且发光稳定。在一定范围内发光效率随掺杂浓度的增加而增大、随退火条件的不同而改变。并对样品的发光机理作了初步探讨。

关键词： 稀土掺杂 离子注入 硅基氧化膜发光 卢瑟福背散射 光致蓝紫发光

作者: 王水凤 曾宇昕 元美玲 徐飞 程国安

作者单位: 南昌大学物理系(南昌) 南昌大学材料科学工程系(南昌)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国化合物半导体.微波器件和光电器件学术会议

会议地点: 海口

会议语种:中文

页码: 357～360

在线出版日期: 2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）