全铌隧道的工艺以及dc SQUID研究

摘要：

用磁控油射方法及选择铌阳极氧化和选择铌刻蚀工艺制备了Nb/Al-AlO<,x>/Nb全铌隧道结，给出了工艺要点。根据全铌结的参量，设计了全铌隧道结dc SQUID。制成的dc SQUID的传输函数δV/Φδ1.4mV/Φ<,0>，其本征能量分辨率达到24 h。

关键词： 超导体 全铌隧道结 SQUID

作者: 杨乾声 陈赓华 杜寰 赵士平 徐凤枝

作者单位: 中国科学院物理研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国低温工程学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 305～309

在线出版日期: 1999-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）