高频介质阻挡无声放电中电子温度和电子能量分布的探极诊断

摘要：

用Langmuir对称双探极和非对称双探极分别诊断在不同气体种类，不同气压下，高频介质阻挡无声放电中电子温度和电子能量分布。该文概述了诊断技术的原理、装置和实验结果。实验表明，这种放电的电子温度随着气压的增加而减少，但明显高于相应气压下的直流以放电电子温度。

关键词： 无声放电 电子温度 电子能量分布 探极诊断

作者: 凌一鸣 徐建军 江南 王保平

作者单位: 东南大学电子工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 41-43

在线出版日期: 1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）