高温薄膜RF一SQUID器件的研制

摘要：

该文介绍在LaAlO<,3>衬底上用Ar离子刻蚀台阶，用YBCO薄膜的制作RF一SQUID器件的工艺。此工艺的器件成品率大于30℅。在1.25Hz处，器件的磁通噪声灵敏度为5×10<”－4>Φ<,0>/Hz<”-1/2>。此器件三角波的峰峰值为40mV。

关键词： 超导薄膜 超导器件 离子刻蚀

作者: 钟青 陈烈

作者单位: 计量科学研究院 院物理所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国超导薄膜和超导电子学器件学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 125～126

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）