无阀微泵扩散口/喷嘴的计算机模拟

摘要：

该文讨论了无阀微泵扩散口／喷嘴的整流特性，模拟分析了扩散口／喷嘴结构参数对无阀微泵工作特性的影响，在模拟过程中，采用有限元法优化扩散口／喷嘴的结构设计。模拟结果与文献的实验值较为符合，为无阀微泵的结构设计提供了重要的参考依据。

关键词： 无阀微泵扩口 喷嘴计算机模拟 有限元法 微执行器

作者: 李新 刘晓为 车伟

作者单位: 哈尔滨工业大学MEMS中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第六届全国敏感元件与传感器学术会议

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 89～92

在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）