垂直结构无阀微泵的研究

摘要：

利用KOH对硅化学腐蚀的各向异性特性和硅片静电键合技术制作了垂直结构压电驱动无阀微泵,利用液柱高度差及闭环流动系统测量了泵压和流速.初步结果表明,泵特性除与外加电压有关外,还与压电膜片的厚度有关.

关键词： 无阀微泵 泵压测量 流速测量

作者: 蓝慕杰 陈伟平 王东红 邢树先 张雅茹

作者单位: 哈尔滨工业大学MEMS中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 261-263

在线出版日期: 2000-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）