Na2O对制备半导体用MoSi2/oxide发热元件使用特性的影响

摘要：

本文对比了脱Na工艺前后MoSi<,2>/oxide发热元件使用特性的变化.分析结果表明,通过脱Na处理较好地解决了半导体制品热处理装置中石英玻璃管的失透问题,同时使发热元件的弯曲强度和高温蠕变特性也有了明显改善,从而提高了发热元件的使用寿命.

关键词： Na<,2>O粘土 土硅化钼 发热元件 材料性能

作者: 赵世柯 王刚 江莞

作者单位: 中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国青年材料科学技术研讨会

会议地点: 哈尔滨

会议语种:中文

页码: 109-111

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）