Lock-in用于无损显微分层内窥透视集成电路法

摘要：

提出一种新的在扫描电子显微镜中非接触无损透过半导体和集成电路表面绝缘层显微内窥透视检测掩盖在其绝缘层下面的半导体的缺陷和集成电路微结构的检测法(简称透表法)和用此法所观测到的图像.同时,本文还介绍了在此新检测法中Lock-in的应用.

关键词： 扫描电子显微镜 电子束 非接触无损 显微分层内窥透视检测法 锁相放大器 集成电路

作者: 王建 肖玲 梁竹关 周开邻 胡问国 李亚文 李萍 徐晓华 Pay э.н

作者单位: 云南大学物理系(昆明) 昆明物理研究所(昆明) 俄罗斯科学院微电子研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第九届微弱信号检测学术会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 112-115

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）