作者: 董元昌
会议类型: 国内会议
会议名称: 中国真空学会薄膜技术学术交流会
会议地点: 北京
会议语种:中文
页码: 185
在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）