ECR等离子体中电子能量分析器实验曲线的修正

摘要：

对电子回旋共振等离子体中使用的电子能量分析器实验曲线偏离理想情况的几种现象进行了讨论,并提出了相应的修正和拟合的方法.

关键词： 电子能量分析器 曲线拟合 电子回旋共振 图像数字化

作者: 温晓辉 詹如娟 张锐

作者单位: 中国科学技术大学近代物理系(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会薄膜技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 231-233

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）