会议专题

扩散、合并和粗化:沉积在液体基底表面Ag原子团簇及薄膜的演变过程

研究了沉积在液体基底表面的Ag原子团簇的扩散、合并和粗化机制.对薄膜生长过程的原位观察结果表明:沉积在硅油表面的Ag原子首先凝聚成具有网状结构的薄膜;然后薄膜破裂成分枝状的碎片,并逐渐凝聚成准圆形团簇;通过扩散和合并,准圆形团簇的尺寸随时间而增大,其数密度随时间而减小.研究发现,准圆形团簇对的扩散系数D和团簇对的总面积S<,o>满足指数关系D∝S<,o><”-a>,其中指数a=0.54±0.08.此外,还对Ag原子准圆形团簇的相对尺寸分布函数及凝聚速率做了详细研究.

液体基底 Ag原子团簇 薄膜生长 薄膜演变

杨波 金进生 焦正宽 叶高翔

浙江大学物理系(杭州)

国内会议

中国真空学会薄膜技术学术交流会

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193-197

2001-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)