静电加速器高频离子源引出电极的光学设计

摘要：

高频离子源管道式引出电极的几何参数对束流引出具有重要影响.本文通过建立束流最佳引出数学模型,对引出电极的几何参数进行了离子光学计算,确定了适合引出H<”+>,N<”+>,Ar<,+>等多种束流的引出电极合适的几何参数,并综合气耗、束流强度等因素设计了用于5.5MeV静电加速器高频离子源的引出电极.理论计算和实验表明了该设计方法的有效性.

关键词： 高频离子源 引出电极 离子光学设计 静电加速器

作者: 卢超 余增亮 詹福如

作者单位: 南昌航空工业学院测试技术与控制工程系(南昌) 中国科学院等离子体物理研究所离子束生物工程实验室(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国真空学会薄膜技术学术交流会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 173-177,201

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）