激光非接触微小位移传感器的开发

摘要：

介绍了一种应用光电位置传感器(PSD)运用光学三角法测量原理,实现非接触微小位移测量的传感器工作原理和应用领域.

关键词： 光电位置传感器 激光 位移 光学三角法测量

作者: 梁东明 杜新华 李玉奎

作者单位: 天津市检测技术研究所(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国自动化学会第十六届青年学术年会

会议地点: 桂林

会议语种:中文

页码: 320-322

在线出版日期: 2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）