乌克兰AJIMAC-12M切片机概况

摘要：

该文阐述了国内最新引进的“ＡＪＩＭＡ３－１２Ｍ”２７〈’〃〉内圆切片机的主要概况及改造工作。

关键词： 乌克兰 切片机

作者: 赵晶 陈文杰 郑义翔

作者单位: 有色金属研究总院

会议类型: 国内会议

会议名称: 1998年全国半导体硅材料学术会议

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 266～269

在线出版日期: 1998-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）