离子束复合真空镀膜机的研制和应用

摘要：

本文介绍一台用于汽轮机叶片表面强化的离子束复合镀膜生产设备.该设备配有三种大面积考夫曼离子源和两套磁控测射系统,通过开发和实践证明该设备及其工艺具有广阔的应用前景.

关键词： 汽轮机 叶片 离子源 磁控溅射 离子束 镀膜 真空镀膜机

作者: 朱启良 汪亮明 白玉兰 王锦辉 过骐千

作者单位: 北京机械工业自动化研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国表面工程学术交流会

会议地点: 长江三峡

会议语种:中文

页码: 179-181

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）