半导体制程排放之VOCs废气处理技术及现况

摘要：

本文简介现行半导体制程排放VOCs废气处理技术重点,并讨论影响沸石浓缩转轮效益之因素,分别就各操作因子,例转轮转速、再生温度、面速度、入口浓度……等讨论处理效益的影响,由目前各厂的运转数据显示,适当设计的沸石浓缩转轮系统及活性碳流体化床吸附系统均可达90℅以上的处理效益.

关键词： 制程排气系统 挥发性有机气体 废气处理 半导体厂 沸石浓缩

作者: 邓石治 朱小蓉 蔡尤溪

作者单位: 华懋科技股份有限公司 国立台北科技大学冷冻空调工程系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届海峡两岸制冷空调技术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 75-82

在线出版日期: 2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）