半导体厂制程排气系统之研究
制程排气系统之设计,不仅须符合流量之要求,而且应考虑到系统压力平衡、噪音、震动、空间限制以及整体系统成本等相关问题.本研究以3C风管设计法对半导体厂制程排气系统作一设计.此3C风管设计法主要包含三个计算步骤:计算机辅助设计(Computer-Aided Design,CAD)、计算机辅助模拟(Computer-Aided Simulation,CAS)以及修正程序(Correction Processes,CP).其次,本文以实际案例作说明,以了解此方法的特性.证实此新风管设计方法,其计算程序简易,且在空间上或流动速度作某种程度的限制之下,同时可兼顾压力平衡.如此,不但可以缩短设计时程,防止人为计算上的误差,更可减少对设计者经验的依赖.
空调风管 风管设计 制程排气系统 半导体厂 CAD
陈文亮 范瑞展 丁俊智 陈希立
国立台湾大学机械工程学系
国内会议
上海
中文
65-74
2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）