移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题

摘要：

光学件波面测量在光学加工业中有着大量的需求,近年来相关测量技术发展非常迅速,其中移相技术是较典型的代表,发展日趋成熟并得到了广泛应用.以PG-15型平面干涉仪为硬件基础,采用移相技术,解决了其中移相值标定、相位解调、误差处理中的难点,研制了数字波面干涉仪.对干涉仪中的这几个关键技术问题进行了讨论,并给出了相应的解决方法.

关键词： 波面干涉仪 移相值标定 相位解调 误差处理

作者: 于瀛洁 韦春龙 陈明仪

作者单位: 上海大学精密机械工程系(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2001微机电系统与机器人学术讨论会

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 584-587

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）