Co-P非晶态合金膜的化学镀制备及其表征

摘要：

以p-型硅片为基底,采用化学镀方法首次制备了Co-P非晶态合金膜,其非晶态结构由XRD确定.样品分别进行高温热处理和氧化-还原循环处理,结合XRD、ICP、SEM和XPS等表征方法,研究了上述热处理过程中样品的结构、表面形貌、表面电子态及表面组成的变化.

关键词： Co-P合金膜 化学镀 循环氧化-还原 非晶态合金催化剂

作者: 蔡霞 徐叶平 陈兴凡 李和兴

作者单位: 上海师范大学化学系(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第四届全国青年精细化工学术会议

会议地点: 天津

会议语种:中文

页码: 280-284

在线出版日期: 2001-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）