SMIF隔离技术的洁净微环境——洁净技术的新发展

摘要：

SMIF是英语Standard Mechanical Interface的缩写.字面解释为“标准机械接口”作为洁净技术术语其实质含义为“将硅片在与操作者环境隔离的条件下运送,和在集成电路工艺设备之间转移的新技术”因为作为一种标准的方式在隔度条件下将硅片与工艺设备相接合,必须有密封的全自动开闭的统一接口即为SMIF.

关键词： 洁净技术 洁净度 SMIF隔离技术 集成电路生产

作者: 周明孝

作者单位: 江苏苏净集团有限公司

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届海峡两岸制冷空调技术交流会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 26-30

在线出版日期: 2001-07-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）