抛光参数对抛光液传输影响的研究

摘要：

本文主要研究抛光盘转速、抛光垫种类、抛光垫表面形貌、抛光压力以及抛光垫现场修整对抛光液流的影响.

关键词： 化学机械抛光 抛光参数 抛光液传输

作者: 沈中伟 袁巨龙 林彬 郑家锦 阮键 张立彬

作者单位: 浙江工业大学职教学院(杭州市朝晖六区) 天津大学高温结构陶瓷及工程陶瓷加工技术教育部重点实验室(天津) 浙江工业大学浙西分校(浙江衢州市) 浙江工业大学机电学院(杭州市朝晖六区)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国磨削技术学术会议

会议地点: 泉州

会议语种:中文

页码: 104-107

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）