微电子工业生产废水处理及回收利用

摘要：

阐述了微电子工业芯片制造而产生的含氟废水、硅片研磨废水以及纯水处理混床再生所产生的高浓度酸碱废水的处理方法,特别对含氟废水的处理作了大胆的尝试,取得了明显的成效.对处理后的合格废水回收用作工艺设备及动力设备的冷却水,产生了良好的经济效益和社会效益.

关键词： 含氟废水 研磨废水 酸碱废水 废水利用 电子工业废水

作者: 胡伟林

作者单位: 华越微电子有限公司(浙江 绍兴)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2001全国水处理技术研讨会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 175-178

在线出版日期: 2001-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）