光电子领域的一项关键技术——微反射镜

摘要：

采用微加工技术,将硅薄片镀上金属膜,制成微反射镜,结合微驱动装置,实现激光偏转扫描.

关键词： 微反射镜 激光偏转扫描 微加工技术

作者: 过振 王石语 蔡德芳 文建国 王绒线

作者单位: 西安电子科技大学技术物理学院(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国红外科学技术交流会暨全国光电技术学术交流会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 477-479

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）