二元光学及其应用
本文对二元光学的产生和发展作了介绍,并阐述了二元光学元件之一的微透镜(microlenses)的设计、制作和测试方法以及它们的主要应用.microlenses的设计是基于已成熟的标量衍射理论;而其制作过程包括;计算机设计波面相位、产生掩膜板、光刻或离子(束)蚀刻以及复制产生微透镜,其关键技术蚀刻方法有等离子蚀刻技术和反应离子蚀刻RIE(Reactive Ion Etching)技术;微透镜的测试主要包括衍射效率(diffractive efficiency)和点扩散函数(PSF)的测试,有直接法和间接法两种测试方法.微透镜可以微型化与阵列化,并且可以同微电子器件一起集成化,具有广泛的应用前景.
二元光学 微透镜 衍射效率 点扩散函数 蚀刻
孔令彬 易新建 陈四海
中国地质大学机电系 华中科技大学图象识别与人工智能研究所图象信息处理与智能控制教育部重点实验室
国内会议
宁波
中文
383-386
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）