椭偏测量技术在碲镉汞液相外延材料上的应用

摘要：

本文采用椭圆偏振技术,对液相外延(LPE)生长的碲镉汞薄膜材料的组分及其组分的纵向分布进行了测量和研究.结果发现经P型热处理后的外延材料存在组分较低的表面层;去除表面效应和界面处组分互扩散的影响,薄膜材料的组分纵向分布具有很好的均匀性,其组分分布的均方差小于0.005.

关键词： 椭偏光谱测量技术 液相外延 碲镉汞

作者: 徐庆庆 陈新强 魏彦峰 杜美蓉 巫艳 杨建荣 何力

作者单位: 中国科学院上海技术物理研究所材料器件研究中心

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国红外科学技术交流会暨全国光电技术学术交流会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 134-136

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）