64元硅光电二极管线列阵的研制
根据机载成象光谱仪的要求,0.4～1.05μm的入射光经光栅分光后由一个64元的硅二极管线列阵探测.每个光敏元接收光谱的带宽约为10nm.线列的总长度由仪器的光学系统决定为51.2mm.此外,仪器要求线列器配件有:1)高的响应率.由于在蓝紫光和近红外波段,通常硅探测器的响应率较低,因此在这两个波段需要特殊的“增强”.2)快的响应速度.由于探测器的响应速度主要取决于RC时间常数,因此必须减小探测器的结电容,从而提高响应速度.3)低的暗电流.为此,我们采用了特殊的工艺和结构,使研制的线列阵各项性能均满足了机载成象光谱仪的要求.
硅光电二极管 制作工艺
江美玲 陈世军 张学敏 丁爱娣 马斌 耿海江 冯晓梅 丁毅 梁平治
中科院上海技术物理所(上海)
国内会议
宁波
中文
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2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）