环孔HgCdTe焦平面探测器

摘要：

本文给出了我们采用环孔互连工艺研制288×4长波HgCdTe焦平面探测器的最新进展,包括器件环孔技术介绍、探测器芯片制备工艺,报道了288×4长波HgCdTe焦平面探测器的性能.并给出了分析与结论.

关键词： 环孔互连工艺 HgCdTe焦平面

作者: 庄继胜 蔡毅

作者单位: 昆明物理研究所(昆明)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国红外科学技术交流会暨全国光电技术学术交流会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 111-113

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）