碲锌镉衬底晶向的偏离与碲镉汞LPE薄膜表面形貌关系

摘要：

本文主要讨论衬底的晶向偏离与外延层表面波纹的关系,实验证实了临界偏离角度,要获取良好的液相外延表面,外延所用的碲锌镉衬底B面的品向偏离度须控制在0.2°以内.

关键词： 碲锌镉 单晶薄膜 表面形貌 品向偏离

作者: 陈新强 黄根生 徐琰 杨建荣 何力

作者单位: 上海技术物理所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国红外科学技术交流会暨全国光电技术学术交流会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 39-41

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）