HgCdTe晶片表面的原子力显微测量

摘要：

用原子力显微镜对HgCdTe晶片表面损伤进行了非破坏性的检测,结果表明,原子力显微镜可以在原子级分辨率的水平直接测量HgCdTe晶片表面的破坏区,使得定域表征HgCdTe晶片表面的损伤成为可能.

关键词： 原子力显微镜 HgCdTe 表面损伤

作者: 姚英

作者单位: 昆明物理研究所(云南昆明)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国红外科学技术交流会暨全国光电技术学术交流会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 35-38

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）