InSb凝视红外焦平面组件研制和应用

摘要：

研制成功了采用光伏InSb二极管列阵工艺、直接注入Si-CMOS读出电路、微型玻璃杜瓦和微型节流致冷机的64×64元InSb红外焦平面组件.焦平面组件平均探测率～1×10<”11>cmHz<”1/2>W<”-1>,平均量子效率～72℅,响应率非均匀性～18℅,无效像元率～0.5℅.其性能参数满足红外成像制导的技术要求,已成功进行了凝视成像红外导引头外场探测试验.

关键词： InSb 红外焦平面 组件

作者: 陈伯良 梁平治 王正官 江美玲 丁瑞军 孙维国 郑志伟 朱晓池 龚启兵 黄水安

作者单位: 中国科学院上海技术物理所(上海) 中国空空导弹研究院(洛阳)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国红外科学技术交流会暨全国光电技术学术交流会

会议地点: 宁波

会议语种:中文

页码: 5-10

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）