金属基非晶金刚石薄膜场发射特性研究

摘要：

该文采用微波等离子体方法在无氧铜基片上沉积了非晶金刚石薄膜，发现在铜片上沉积未成膜金刚石颗粒的具有更低的开启电压和较高的发射电流密度，在自制场致发射阵列阴极高真空测试台上测试到的发射电流〉2.08mA，发射电流密度〉100mA/cm<”2>，在发射电流为10μA时的开启电场仅仅只有2Vμm，相应的有效功函数≈0.025eV。

关键词： 场致发射 非晶金刚石薄膜 真空微电子 电子源 半导体材料

作者: 曾青 谢扩军 杨中海 季天仁

作者单位: 电子科技大学高能电子学研究所(成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第一届高能电子学学术交流会

会议地点: 四川绵阳

会议语种:中文

页码: 129～132

在线出版日期: 1999-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）