原子力显微镜金刚石针尖在微加工中的磨损研究

摘要：

本文研究当原子力显微镜微加工单晶硅的金刚石针尖的磨损机制以及对微加工过程的影响规律.

关键词： 原子力显微镜 金刚石针尖 单晶硅 微加工 化学磨损

作者: 赵清亮 董申 孙涛

作者单位: 哈尔滨工业大学精密工程研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十一届全国磨削技术学术会议

会议地点: 泉州

会议语种:中文

页码: 114

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）